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| 型 号 名 |
IPV |
| 型 号 |
NM－TD10 |
NM－TD15 |
基板尺寸
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L50mm×W50mm~L330mm×W250mm |
L50mm×W50mm~L510mm×W460mm |
检查节拍*1
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扫描时间：0.09Ls(X-Y分辩率20μm时)0.045Ls(X-Y分辩率40μm时)检查时间：0.007s/点 |
基板更换时间
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6.5 s (基板尺寸而异) |
分辨能力
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X-Y分辩率：20/40 μm(可以更换) Z分辩率：10μm(固定) |
电 源
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单相AC 100V, 6 kVA |
空 压 源*2
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0.5MPa, 40L/min(A.N.R) |
| 设备尺寸*3 |
长1 504mm×宽812mm×高1 500mm*3 |
长1 933mm×宽1 042mm×高1 500mm*3 |
| 重量 |
650kg |
1 100kg |
* 插件速度等值，会随条件而异
* 详情，请参照规格说明书
*1：有条件、L是X方向扫描长度(mm)
*2：也可对应三相 110/115/120/130/200/220/230/240/260 V
*3：不包括信号塔
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沪ICP备031972
检查机
